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超精密加工と非球面加工/「1.5章:大口径シリコンウエハの超精密研削」(分担)

書誌事項

タイトル
"超精密加工と非球面加工/「1.5章:大口径シリコンウエハの超精密研削」(分担)"
著者
周 立波(分担)
出版者
  • NTS
ページ数
418

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詳細情報

  • CRID
    1020000781818341632
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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