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Metrology (Ch.18: Contact-type micro thermal sensor for surface defect detection)

書誌事項

タイトル
"Metrology (Ch.18: Contact-type micro thermal sensor for surface defect detection)"
著者
Yuki Shimizu
出版者
  • Springer
ページ数
24

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詳細情報

  • CRID
    1020000781829725696
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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