【7/12更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

TiO_2透明導電体のスパッタ成膜"光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御

書誌事項

タイトル
"TiO_2透明導電体のスパッタ成膜"光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御"
著者
一杉太郎、山田直臣
出版者
  • 技術情報協会

この図書・雑誌をさがす

関連論文

もっと見る

関連研究データ

もっと見る

関連図書・雑誌

もっと見る

関連博士論文

もっと見る

関連プロジェクト

もっと見る

関連その他成果物

もっと見る

詳細情報

  • CRID
    1020282257155153537
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
ページトップへ