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シランカップリング剤の調整・処理条件 事例集 第9章「シランカップリング剤による微細構造形成技術」・第2節「シランカップリング剤を用いたマイクロパターンの機能化」

  • 柴 弘太
    国立研究開発法人物質・材料研究機構

書誌事項

タイトル
"シランカップリング剤の調整・処理条件 事例集 第9章「シランカップリング剤による微細構造形成技術」・第2節「シランカップリング剤を用いたマイクロパターンの機能化」"
著者
多賀谷基博, 柴弘太
出版者
  • 株式会社 技術情報協会
ページ数
7

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詳細情報

  • CRID
    1020282257297700865
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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