シリコン結晶における破壊靭性値の方位依存性と表面エネルギー

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Title
シリコン結晶における破壊靭性値の方位依存性と表面エネルギー
Author
田中 將己 et al.

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  • CRID
    1010000781592438656
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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