マイクロマシン用アクチュエータの開発(機能性流体を用いたマイクロアクチュエータ)
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- 横田 眞一
- 東京工業大学
書誌事項
- タイトル
- マイクロマシン用アクチュエータの開発(機能性流体を用いたマイクロアクチュエータ)
収録刊行物
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- クリーンテクノロジ 12-8
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クリーンテクノロジ 12-8 16-20, 2002