FIB-CVによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定
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- MATSUI Shinji
- University of Hyogo, Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry
Bibliographic Information
- Title
- FIB-CVによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定
Journal
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- (社)電気学会、マイクロマシン・センサシステム研究会資料 MSS-05-1
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(社)電気学会、マイクロマシン・センサシステム研究会資料 MSS-05-1 1-4, 2005
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781779448207
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN