FIB-CVによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定
-
- 松井 真二
- 兵庫県立大学
書誌事項
- タイトル
- FIB-CVによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定
- 著者
- 井垣潤也, 松井真二
- 公開日
- 2005
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
-
- (社)電気学会、マイクロマシン・センサシステム研究会資料 MSS-05-1
-
(社)電気学会、マイクロマシン・センサシステム研究会資料 MSS-05-1 1-4, 2005