酸化インジウム薄膜マイクロセンサの塩素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
Bibliographic Information
- Title
- 酸化インジウム薄膜マイクロセンサの塩素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
- Author
- 新美 潤
Journal
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- Chemical Sensors 21(A)
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Chemical Sensors 21(A) 19-21, 2005