Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響
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- MATSUMURA Yoshihito
- Tokai University, Faculty of Engineering, Energy Science & Technology, Professor
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- NISHI Yoshitake
- Tokai University, School of Engineering, Professor
Bibliographic Information
- Title
- Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響
- Author
- 高橋啓介, 増田進吾, 津嘉山 葉, 門脇 睦, 松村 義人, 西 義武
Journal
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- 日本金属学会誌 69・8
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日本金属学会誌 69・8 671-675, 2005
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781883114527
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN