パルス通電加熱したTi-Ni粉末焼結ターゲットならびにNaC1粉末焼結基板を用いたスパッ夕成膜
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- 小林 慶三
- 独立行政法人産業技術総合研究所
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- ISHIKAWA Yukio
- Mie University
Bibliographic Information
- Title
- パルス通電加熱したTi-Ni粉末焼結ターゲットならびにNaC1粉末焼結基板を用いたスパッ夕成膜
- Author
- 小林慶三, 尾崎公洋, 三上祐史, 石川幸雄
Journal
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- 粉体および粉末冶金 54巻2号
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粉体および粉末冶金 54巻2号 107-111, 2007
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781933886369
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN