低温プラズマ処理による高分子薄膜の高精度微細加工制御
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- 山根 大和
- 北九州工業高等専門学校
書誌事項
- タイトル
- 低温プラズマ処理による高分子薄膜の高精度微細加工制御
- 著者
- 大場佑樹, 山根大和, 山田憲二, 梶山千里
収録刊行物
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- 日本化学会西日本大会2005予稿集
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日本化学会西日本大会2005予稿集 335-, 2005