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低温プラズマ処理による高分子薄膜の高精度微細加工制御
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- YAMANE Hirokazu
- Kitakyushu National College of Technology
Bibliographic Information
- Title
- 低温プラズマ処理による高分子薄膜の高精度微細加工制御
- Author
- 大場佑樹, 山根大和, 山田憲二, 梶山千里
Journal
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- 日本化学会西日本大会2005予稿集
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日本化学会西日本大会2005予稿集 335-, 2005
- Tweet
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781941793579
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN