アナログバウンダリスキャンによる三次元積層後のTSV抵抗精密計測法
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- 樋上 喜信
- 愛媛大学
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- Takahashi Hiroshi
- 愛媛大学
Bibliographic Information
- Title
- アナログバウンダリスキャンによる三次元積層後のTSV抵抗精密計測法
- Author
- 亀山 修一，馬場 雅之，樋上 喜信，高橋 寛
Journal
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- 電子情報通信学会論文誌 D-I
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電子情報通信学会論文誌 D-I J97-D-I 887-890, 2014
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000782247461772
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN
