分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較
書誌事項
- タイトル
- 分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較
- 著者
- 鄭 仰東
収録刊行物
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- 第52回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 (印刷中)
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第52回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 (印刷中) 2005
第52回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 (印刷中) 2005