Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surface activation
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- 日暮 栄治
- 東京大学
書誌事項
- タイトル
- Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surface activation
- 著者
- Eiji Higurashi, Yuichiro Tokuda, Masatake Akaike, Tadatomo Suga
収録刊行物
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- Proceedings of SPIE Vol. 6717
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Proceedings of SPIE Vol. 6717 2007