Proximity effect in electron-beam-induced deposition
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- 三石 和貴
- 物質・材料研究機構
書誌事項
- タイトル
- Proximity effect in electron-beam-induced deposition
- 著者
- 三石和貴, 下条雅幸, 竹口雅樹, 田中美代子, 古屋一夫
収録刊行物
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- JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 45
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 45 5517-, 2006