Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma Processing

書誌事項

タイトル
Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma Processing
著者
H. Fujiyama and M. Shinohara

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詳細情報

  • CRID
    1010282256953366020
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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