Low temperature crystallization of TiNifilms by ion irradiation
書誌事項
- タイトル
- Low temperature crystallization of TiNifilms by ion irradiation
- 著者
- N. Ikenaga, Y. Kishi, Z. Yajima, N. Sakudo
収録刊行物
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- EDP Science(DOI:10. 1051/esomat/200905010)
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EDP Science(DOI:10. 1051/esomat/200905010) 2009
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詳細情報
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- CRID
- 1010282257452102016
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN
