"Fabrication of waveguides by laser deposition : Optical waveguide growth on Si with NGA-PLD method," Chapter 12 in Laser Alation and Its Applications

書誌事項

タイトル
""Fabrication of waveguides by laser deposition : Optical waveguide growth on Si with NGA-PLD method," Chapter 12 in Laser Alation and Its Applications"
著者
T.Okato, M.Obara
出版者
  • Springer Verlag, June 2006, New York
ページ数
15

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詳細情報

  • CRID
    1020000781606070912
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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