Micro Electronic and Mechanical Systems(Membrane Micro Emboss (MeME) Process for 3-D Membrane Microdevice)
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- 池内 真志
- 名古屋大学
書誌事項
- タイトル
- "Micro Electronic and Mechanical Systems(Membrane Micro Emboss (MeME) Process for 3-D Membrane Microdevice)"
- 著者
- Masashi Ikeuchi, Koji Ikuta
- 出版者
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- IN-TECH
- ページ数
- 514
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1020000782055199360
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- タイトル言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN
