Study on growth of nanoparticle in spatio-temporal electric field fluctuation
-
- KAMATAKI Kunihiro
- Principal Investigator
- 九州大学
About this project
- Japan Grant Number
- JP19K03809
- Funding Program
- Grants-in-Aid for Scientific Research
- Funding organization
- Japan Society for the Promotion of Science
- Project/Area Number
- 19K03809
- Research Category
- Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Allocation Type
-
- Multi-year Fund
- Review Section / Research Field
-
- Basic Section 14030:Applied plasma science-related
- Research Institution
-
- Kyushu University
- Project Period (FY)
- 2019-04-01 〜 2022-03-31
- Project Status
- Completed
- Budget Amount*help
- 4,420,000 Yen (Direct Cost: 3,400,000 Yen Indirect Cost: 1,020,000 Yen)
Research Abstract
私達が日常的に使用しているPC、スマートフォンやIoTデバイスの中の半導体創成工程の多くをプラズマプロセスが占めている。そのプラズマプロセスにおける重要技術の一つは、ナノ粒子サイズの制御である。申請者らは、プラズマに電場揺らぎを印加することで、通常の放電時と比べ、サイズ及びサイズ分散も小さいナノ粒子を製成できることを見出した。しかし、この現象のメカニズムの詳細は明らかになっていない。本研究では、プラズマ中の電場構造に注目し、ナノ粒子量、プラズマ密度の時空間構造を同時計測行うことで、上記メカニズム解明を行う。これにより半導体プラズマプロセス技術の向上や微粒子プラズマ物理への貢献に繋がる。
