アトグラム質点系のブラウン運動解析にもとづく高精度ナノ粒子粒度分布計測
研究課題情報
- 体系的番号
- JP19H02043 (JGN)
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
科研費情報
- 研究課題/領域番号
- 19H02043
- 研究種目
- 基盤研究(B)
- 配分区分
-
- 補助金
- 審査区分/研究分野
-
- 小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
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- 九州大学
- 研究期間 (年度)
- 2019-04-01 〜 2022-03-31
- 研究課題ステータス
- 完了
- 配分額*注記
- 17,290,000 円 (直接経費: 13,300,000 円 間接経費: 3,990,000 円)
研究概要
研磨砥粒などに利用されるナノ粒子の粒度分布評価は,ナノ粒子の品質管理の観点で重要な技術であるが,ナノ粒子の観察やハンドリングの困難さがあり,その粒径計測結果の信頼性については様々な議論が行われている.本研究課題では,砥粒ナノ粒子に用いられる粒径20nm~500nmの粒子について,粒子個数ベースの粒度分布(幾何学径)を計測する方法として,ナノ粒子チップを用いた粒度分布評価技術を提案する.提案課題の妥当性の検証を行った上で,多数のナノ粒子の画像解析に基づく粒子個数ベースの粒度分布情報に基づき,平均粒径やその分布,また,粒子形状などの情報を含む粒子特徴解析技術の確立を目指す.