超ナノ微結晶ダイヤモンド膜の光電気・機械特性を決定づけるキーファクターの解明
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- 吉武 剛
- 研究代表者
- 九州大学
研究課題情報
- 体系的番号
- JP19H02436 (JGN)
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
科研費情報
- 研究課題/領域番号
- 19H02436
- 研究種目
- 基盤研究(B)
- 配分区分
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- 補助金
- 審査区分/研究分野
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- 小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
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- 九州大学
- 研究期間 (年度)
- 2019-04-01 〜 2023-03-31
- 研究課題ステータス
- 完了
- 配分額*注記
- 17,420,000 円 (直接経費: 13,400,000 円 間接経費: 4,020,000 円)
研究概要
粒径10 nm以下のダイヤモンド微結晶がa-C:Hマトリックス中に無数に存在する構造を持つUNCD膜は，膜中における粒界界面の占める割合が無視できないレベルで大きくなり，その結果単結晶ダイヤモンドともa-C:Hとも異なる新奇な物性を発現する．BおよびNドープによりpおよびn型化がキャリア濃度の制御を含めて可能であり，光電変換材料として有望であることを実証してきた．またDLCの最高硬度に匹敵する60 GPaの高硬度膜を，DLC膜より一桁以上厚い数ミクロンの厚膜を堆積可能であることを実証してきた．特異な物性の発現するキーとなる粒界を含むナノ構造を，化学結合構造の視点から明らかにする．
