誘電泳動力は不平等電界により発生する駆動力で、微粒子の配向・集積のリアルタイムモニタリングが可能な手法である。申請者のグループでは誘電泳動力により集積した半導体微粒子をセンシング材料としたガスセンサに関する研究を遂行しているが、不平等電界による誘電泳動集積では、微粒子が不均質に集積される問題があった。本研究では、不平等電界によって生じる誘電泳動場を巨視的に均質に制御する“均質誘電泳動集積”技術基盤を構築し、微粒子集積に対する影響を、センサデバイスの特性比較を通して評価することを目的とする。
