高速かつ省エネルギーなデバイス開発はナノフォトニクス分野における重要課題であり、ナノメートルの空間分解能を有するカソードルミネセンス(CL)はナノ材料やデバイス機能の解析の強力な手法となり得る。従来のCLは類似のフォトルミネセンス(PL)のような励起エネルギー選択性がなく、様々な励起状態を区別することなく緩和過程を計測するため、種々の現象を切り分けて解析することができない。本研究では新型CL顕微鏡を開発し、時間分解PLと定量比較可能な計測をナノメートルオーダーの空間分解能で実現するとともに、未解明であった半導体におけるCLの機構を解明する。