書誌事項
- タイトル別名
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- PdNi ゴウキン ハクマク パターン オ ユウスル SQUID ノ デンキテキ トクセイ
- The electrical characteristics of SQUIDs with PdNi alloy thin film patterns
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抄録
我々はSQUID上にPdNi合金薄膜パターンを持つ構造のテバイスを作製し、PdNi合金パターンがSQUIDの電気的特性に与える影響について調査を行った。PdNi合金はPdとNiの同時スパッタによって堆積し、リフトオフ法もしくはArイオンミリンクによってパターンを形成した。SQUIDの外部磁場特性をPdNi合金パターン形成前後で比較したところ、SQUIDの冷却中に磁場を加えることによって位相かシフトすることを確認し、超伝導位相シフタを実現した。またNi割合が4at%となるPdNiを用いた場合てはSQUIDのインタクタンスの増加か得られた。
(薄膜,デバイス技術及びその応用,一般)
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. SCE, 超伝導エレクトロニクス
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電子情報通信学会技術研究報告. SCE, 超伝導エレクトロニクス 113 (401), 117-121, 2014-01
一般社団法人電子情報通信学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050001338804749184
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- NII論文ID
- 110009822132
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- NII書誌ID
- AA1123312X
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- HANDLE
- 2237/23809
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- NDL書誌ID
- 025280211
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- ISSN
- 09135685
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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