電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成

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  • Synthesis of electroconductive diamond film for application as electrical contact
  • デンキ セッショクシ エノ オウヨウ オ メザシタ ドウデンセイ ダイヤモンドマク ノ ゴウセイ

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抄録

導電性ダイヤモンドを電気接触子に応用することを考えた。導電性CVDダイヤモンド膜をタングステン基板表面に合成した。その試料の表面形態、膜厚、電気抵抗値などを測定した。合成された膜の表面は、凹凸があり、電気接触子に好ましい形状であった。膜厚の合成時間依存性を測定した結果から、ダイヤモンドが析出するまでに炭化物層が形成されていることが示唆される。XRD測定の結果から、析出物にダイヤモンド相が含まれていることが確認できた。押し付けた状態での電気抵抗値を測定した結果、未処理のタングステン基板と同程度かそれ以下の電気抵抗値を示した。今後、更なる詳細な実験が必要である。

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