特集3 : 研究解説 : 超微細砥粒を用いたナノメータ研削

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  • チョウ ビサイ トリュウ オ モチイタ ナノメータ ケンサク
  • Nanometer Grinding Using Ultrafine Abrasives

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特集 生産加工プロセスの先進技術

Journal

  • 生産研究

    生産研究 45 (6), 379-384, 1993-06-01

    東京大学生産技術研究所

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