Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass
説明
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学術論文 (Article)
科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13~H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン)
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収録刊行物
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- Journal of Microelectromechanical Systems
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Journal of Microelectromechanical Systems 11 (6), 625-630, 2002
Institute of Electrical and Electronics Engineers
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050282677709659392
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- ISSN
- 10577157
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- HANDLE
- 10097/48059
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- 本文言語コード
- en
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- IRDB