研究速報 : 衝撃電磁力を利用した微小移動機構

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Other Title
  • ショウゲキ デンジリョク オ リヨウシタ ビショウ イドウ キコウ
  • Micro-Positioning by Electromagnetive Impulsive Force

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Abstract

記事分類: 電気工学--電気理論・電気回路

Journal

  • 生産研究

    生産研究 39 (10), 424-427, 1987-10-01

    東京大学生産技術研究所

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