研究解説 : 気体凝縮層によるクライオソープション･ポンピング

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タイトル別名
  • キタイ ギョウシュクソウ ニヨル クライオソープション ポンピング
  • Cryosorption Pumping By Condensed Gas Layers

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抄録

記事分類: 物理学--物理実験

収録刊行物

  • 生産研究

    生産研究 31 (8), 597-605, 1979-08-01

    東京大学生産技術研究所

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