Micro Cutting of Brittle Material using Monocrystalline Diamond Tool Assisted by UV-laser
Bibliographic Information
- Other Title
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- 単結晶ダイヤモンド工具による硬脆材料のUVレーザ援用微細加工
- タンケッショウ ダイヤモンド コウグ ニ ヨル コウゼイザイリョウ ノ UV レーザ エンヨウ ビサイ カコウ
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Journal
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- Technology reports, Kanagawa University
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Technology reports, Kanagawa University (5), 60-64, 2022-03-22
神奈川大学工学研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1050295259255567360
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- NII Book ID
- AA12816225
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- ISSN
- 24335169
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- HANDLE
- 10487/00018266
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- NDL BIB ID
- 032074966
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- Text Lang
- ja
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- Article Type
- departmental bulletin paper
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- Data Source
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- IRDB
- NDL
