書誌事項
- タイトル別名
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- A Study on Switching Method for Coexisting Solutions in a Nonlinear MEMS Resonator
- ヒセンケイ MEMS キョウシンキ ノ キョウソンカイキリカエ ニ カンスル イチ ケントウ
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抄録
近年注目を集めているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスのひとつとして, MEMS共振器がある.Unterreithmeierらは, 応答曲線にヒステリシス特性を有する両持ち梁のMEMS共振器において, 駆動周波数を一定に保ったまま共存解を切り替えることが可能であることを示した.本報告では, この結果を受け, 共振器における共存解の切り替えに時間遅れ入力を用いたフィードバック制御を適用することを検討する.まず, 数値計算によりその制御の可能性について確認する.さらに, 実験において検証するために, ヒステリシス特性を有するMEMS共振器を作製し, その特性を得た.これらについてまとめる.
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. NLP, 非線形問題
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電子情報通信学会技術研究報告. NLP, 非線形問題 110 (465), 93-97, 2011-03
一般社団法人 電子情報通信学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050564285756006016
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- NII論文ID
- 120005540543
- 110008689647
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- NII書誌ID
- AN10060800
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- ISSN
- 09135685
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- HANDLE
- 2433/193824
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- NDL書誌ID
- 11047846
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- IRDB
- NDL
- CiNii Articles