ブリッジ故障対応IDDQテストで用いる近接配線ペアリストの効率的生成手法

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タイトル別名
  • ブリッジ コショウ タイオウ IDDQ テスト デ モチイル キンセツ ハイセン ペアリスト ノ コウリツテキ セイセイ シュホウ
  • Method of Extracting Pairs of Adjacent Wires for Diagnosing Bridging Faults Based on IDDQ Testing
  • 設計技術と設計自動化

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抄録

本論文では IDDQテストにおけるブリッジ故障候補の絞り込みに用いる近接配線ペアリストの効率的な生成手法を提案する.IFA(InductiveFaultAnalysis)におけるCA(CriticalArea)関数を適用し ブリッジ故障を引き起こす異物粒子の直径とブリッジ故障発生確率の関係について実際のLSI製造プロセスから抽出した統計データへこの関数をフィッティングする.次に 各配線ペアごとにCA関数に基づきブリッジ故障確率を計算し これに従って優先度をつけた近接配線ペアリストを作成する.後のIDDQテスト故障診断において このリストを故障検出率の高いテストパターン作成とテストのフェイル結果から実チップの故障箇所を推定するのに利用する.評価結果から 提案手法が生成した近接配線ペアリストを用いることによりブリッジ故障診断はその処理時間が大幅に短縮され 5Mゲート規模のシステムLSIに適用可能となることを示す.

This paper proposes a new method of extracting pairs of adjacent wires from the mask lay- out of LSIs and efficiently calculating the probability of a bridging fault that a short between each pair of adjacent wires is caused in the fabrication process. The information produced by the method can greatly reduce the number of fault candidates handled in IDDQ testing. Therefore, it improves the efficiency of IDDQ test pattern generation and diagnosis very much. In order to improve the accuracy of the probability, we apply a critical area model function of IFA (Inductive Fault Analysis) and fit the function into process statistics data of relation between diameter x of a particle and the probability of the event that a short is caused by a particle having diameter x. The application results show that the proposed method has greatly reduced the time spent on the diagnosis of IDDQ testing and enables the diagnosis to be applied to 5M-gate LSIs.

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