対向ターゲット式スパッタリング法の放電特性と堆積薄膜特性

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  • Discharge Characteristics in Facing Targets Type of Sputtering Method and Properties of Deposited Thin Films
  • タイコウ ターゲットシキ スパッタリングホウ ノ ホウデン トクセイ ト タイ

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信州大学工学部紀要 76: 13-20 (1995)

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