研究速報 : Design of a Positioning Table Using Crystalline Lattice and Surface Topography as a Reference Index

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書誌事項

タイトル別名
  • 結晶格子をインデックスに用いた位置決めテーブルの設計

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収録刊行物

  • 生産研究

    生産研究 40 (12), 609-611, 1988-12-01

    東京大学生産技術研究所

被引用文献 (2)*注記

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