トランジスタ素子の非破壊・内部観察 : 画像処理

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タイトル別名
  • トランジスタ ソシ ノ ヒハカイ ナイブ カンサツ ガゾウ ショリ
  • Nondestructive Internal Observation of a Transistor Chip as a Specimen : Image Processing

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説明

トランジスタ素子を試料に, 電子線超音波顕微鏡を使って非破壊・内部観察を行ってきた。画像は写真フィルム(白黒)への記録と平行して, 映像信号をパソコンを使ってデータの取り込みを行ってきた。取り込み画像データは12ビット, 448kbであるにも関わらず, OSがMS-DOSの場合, 640×400ドットの画面に, 512×330ドット, 16色での表示しかできなかった。今回は, OSにはウインドウズ95を選択し, 取り込み済みデータを使って, 1024×768ドットの画面に32色, 微細な画面での表示を試みた。その結果, DOS版の16色表示と比べ, (1)32色表示はよりスムースな色変化と, (2)DOS版より微細な画面が得られた。さらに多色での表示も可能であることが分かった。しかし, ウインドウズ95であっても, 未だ取り込み済みデータの1部しか使用できていない。

Using electron-acoustic microscopy, we have observed many kinds of transistor chips as specimens. Microscopic images were recorded onto black and white films and floppy disks, by a personal computer, under operating system of MS-DOS. The data that we obtained consisted of 12 bits and 448 kb/flame. When under MS-DOS as a operation system (640×400 dots/plane), the image is displayed with only 16 colors and a image area of 512×330 dots. In this study, under Windows 95 (1042×768 dots/plane), we attempt to build the image with 32 colors and fine image on the display monitor of a personal computer. Results that we obtained were described under, (1) the images with 32 colors which are obtained by a smooth color change and (2) fine images which are displayed, compared with MS-DOS cases. We understand there is a good possibility that the images will be displayed with more colors in the future, but we can only a small percentage of the data under Windows 95.

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