合金、セラミックス、半導体などの材料開発への熱力学データベースの応用

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  • ゴウキン セラミックス ハンドウタイ ナド ノ ザイリョウ カイハツ ヘノ ネツリキガク データベース ノ オウヨウ

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抄録

金属,合金,セラミックス,半導体などの熱力学盤ならびに相平衡計算;を主として行うことを目的に構築された各種熱力学データベースの紹介を行うとともに,その応用例として, SiO_2,の炭素還元反応による高温生成物質の化学平衡計算ならびに同反応を利用したプロセスシミュレーション,合金および酸化物系の平衡状態図計算,基板上に生成させた化合物半導体薄膜の準安定状態図計算などの結果について述べる。また,著者らが最近行っている熱力学データベースを利用した溶融合金および混合溶融塩の表面張力の計算方法の概略といくつかの計算例についても紹介する。

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