シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究

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Bibliographic Information

Title
"シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 井上直久
Publisher
  • 井上直久
Publication Year
  • 2006.5
Book size
30cm
Other Title
  • シリコン ケッショウチュウ ノ チッソ ノ ジョウタイ ヘンカ ト ノウド ソクテイホウ ノ ケンキュウ
  • 平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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Notes

[課題番号]: 16560014

研究分担者:桝本和義

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793661853952
  • NII Book ID
    BA84350552
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [堺]
  • Data Source
    • CiNii Books
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