電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

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書誌事項

タイトル
"電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究"
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研究代表者
出版者
  • [奈良先端科学技術大学院大学]
出版年月
  • 2000.3
書籍サイズ
30 cm
タイトル別名
  • デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウシタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

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注記

課題番号10650348

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000793687645056
  • NII書誌ID
    BA59357651
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [生駒]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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