電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者
- 出版者
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- [奈良先端科学技術大学院大学]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウシタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
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注記
課題番号10650348
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793687645056
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- NII書誌ID
- BA59357651
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [生駒]
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- データソース種別
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- CiNii Books