シリコンにおけるB+及びP+イオンの打込みと評価
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シリコンにおけるB+及びP+イオンの打込みと評価"
- 出版者
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- 材料技術資料センター
- 出版年月
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- [1991]
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シリコン ニ オケル B + オヨビ P + イオン ノ ウチコミ トヒョウカ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793776569984
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- NII書誌ID
- BN06039649
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books
