マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測

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Bibliographic Information

Title
"マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測"
Statement of Responsibility
研究代表者 巨陽
Publisher
  • [巨陽]
Publication Year
  • 2003.3
Book size
30cm
Other Title
  • マイクロハ レーザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウェーハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク
  • 平成13年度～平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
  • Development of a microwave-Laser measurement technique and contactless measurement of conductivity of silicon wafer in an infinitesimal area

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Notes

課題番号: 13555192

研究代表者 巨陽(東北大学大学院工学研究科 助手)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793840968960
  • NII Book ID
    BB10405655
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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