代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出

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Bibliographic Information

Title
"代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出"
Statement of Responsibility
研究代表者 古屋謙治
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • ダイタイ パーフル オロカーボン プラズマチュウ デ セイセイ スル ユウガイ ブッシツ ノ コウカンド ケンシュツ
  • 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 15540476

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793853169920
  • NII Book ID
    BA73066342
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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