イオン照射によるスパッタ薄膜中の残留応力低減

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Bibliographic Information

Title
"イオン照射によるスパッタ薄膜中の残留応力低減"
Statement of Responsibility
研究者代表 Nowak Roman
Publisher
  • [Nowak Roman]
Publication Year
  • 2000.3
Book size
30cm
Other Title
  • イオン ショウシャ ニヨル スパッタ ハクマク チュウ ノ ザンリュウ オウリョク テイゲン

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Notes

課題番号: 10650091

研究代表者: Nowak Roman(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 吉田総仁, 岡田達夫

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793916218112
  • NII Book ID
    BB29050555
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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