化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化
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書誌事項
- タイトル
- "化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化"
- 責任表示
- 研究代表者 平井敏雄
- 出版者
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- [平井敏雄]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル タセイブンケイ サンカブツ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ ナノ コウゾウ セイギョ ト タカバタ ノウゲ
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注記
研究課題番号: 05403017
平成6年度科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793995451776
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- NII書誌ID
- BB10902310
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
