ナノテクノロジーとレジスト材料
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "ナノテクノロジーとレジスト材料"
- Statement of Responsibility
- 山岡亞夫監修
- Publisher
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- シーエムシー出版
- 普及版
- Publication Year
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- 2007.4
- Book size
- 21cm
- Other Title
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- ナノテクノロジー ト レジスト ザイリョウ
- 新しいレジスト材料とナノテクノロジー
- Nano technology and polymer resist
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Notes
初版 (2002年) のタイトル: 新しいレジスト材料とナノテクノロジー
文献: 各章末