シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 飯山宏一
- Publisher
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- [飯山宏一]
- Publication Year
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- 2007.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- シリコン ノ センタク サンカ ニヨル サイセン ヒカリ ドウハロ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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Notes
課題番号: 17560032
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794080891008
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- NII Book ID
- BB12879650
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [金沢]
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- Data Source
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- CiNii Books