薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究

CiNii Available at 1 libraries

Bibliographic Information

Title
"薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 生天目博文
Publisher
  • [生天目博文]
Publication Year
  • 2000.3
Book size
30cm
Other Title
  • ハクマク セイチョウ モニターヨウ ハッコウ ブンコウ ソウチ ノ ジツヨウカ ケンキュウ

Search this Book/Journal

Notes

研究代表者: 生天目博文(広島大学放射光科学研究センター教授)

研究分担者: 谷口雅樹, 島田賢也, 八木伸也

課題番号: 10355003

Related Books

See more

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794179152128
  • NII Book ID
    BB29032087
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
Back to top