UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法

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Bibliographic Information

Title
"UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法"
Statement of Responsibility
櫛引淳一研究代表者
Publisher
  • [櫛引淳一]
Publication Year
  • 2000.3
Book size
30cm
Other Title
  • UMS ギジュツ ニヨル エレクトロニクス ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウコウセイド トクセイ カイセキ・ヒョウカホウ
  • 平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09450120)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794207558144
  • NII Book ID
    BB03384690
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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