三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ"
- Statement of Responsibility
- 石田誠研究代表
- Publisher
-
- 石田誠
- Publication Year
-
- 2008.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
-
- サンジゲン ビサイ タンケッショウ シリコン プローブ オ シュウセキカ シタ コウキノウ スマート センシングチップ
Search this Book/Journal
Notes
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
出版年は背表紙による
標題紙の出版年: 平成19年5月
研究課題番号: 17206038
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794264980224
-
- NII Book ID
- BA86712814
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [豊橋]
-
- Data Source
-
- CiNii Books
